金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，广东金湾高景太阳能科技有限公司取得一项名为“硅片边沿缺陷检测装置”的专利，授权公告号CN 222214131 U，星空体育平台申请日期为2024年5月。

　　专利摘要显示，本申请涉及半导体生产技术领域，尤其是涉及一种硅片边沿缺陷检测装置。该硅片边沿缺陷检测装置包括输送流线、补光机构和相机机构；输送流线沿硅片流向向前输送硅片，输送流线具有第一作用线和第二作用线，在硅片流向上，第一作用线和第二作用线之间的距离小于硅片的长度；补光机构包括第一条形光源、第一反射镜组件、第二条形光源和第二反射镜组件，第一条形光源发出的照明光线经过第一反射镜组件和第一作用线处的前棱反射至相机机构，第二条形光源发出的照明光线经过第二反射镜组件和第二作用线处的后棱反射至相机机构该硅片边沿缺陷检测装置共用同一相机机构采集硅片的前棱图像和后棱图像，节省了成本，使得结构更加紧凑集约。星空体育平台